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氏　　　名
 松井　誠 （MATSUI，Makoto ）
職名・学位
 教授 工学博士 理学修士
所　　属１
 工学部　電気電子工学科　
所　　属２
 　　　
所　　属３
 大学院　工学研究科　
所属学会
 日本物理学会，応用物理学会，研究・技術計画学会
メ　ー　ル
 MATSUI_Makoto@NiAS.ac.jp
専攻分野
 応用物理学
専門分野
 電子物性
研究テーマ
 1.半導体多重量子井戸構造における電子物性の研究
研究概要
 　
担当科目等
 半導体物性特論（大学院），プログラミング中級，電気数学II，電子物理，電気電子工学基礎実験，電気・電子材料（以上電気電子工学科），半導体材料学（長崎大学）
特　　　許
 「ガラス基板上多結晶シリコン薄膜トランジスタ」(＝低温poly-Si TFT; LTPS-TFT)の発明 （日本特許1885967「半導体装置」，欧州特許0023021，米国特許4351856）等、６ヶ国と欧州で合計４０件の特許を登録した。LTPS-TFTは、移動度が高いので、移動度の低いアモルファスSi-TFTでは実現不可能な、表示装置と画像処理LSIをガラス基板上で一体化するSOG (システム・オン・ガラス system on glass) or SOP (システム・オン・パネル system on panel) を可能にし、近年携帯情報端末で多用されている。また、移動度の高いLTPS-TFTは、液晶ディスプレイのような電圧駆動方式の表示装置のみならず、電流駆動方式も可能なので、移動度の低いアモルファスSi-TFTでは駆動不可能な大面積高精細有機ELディスプレイを可能にし、製品化への途を開いた。
研　究　活　動
論文 Polycrystalline-Silicon Thin-Film Transistors on Glass　（世界初のLTPS-TFTの速報論文） 共著 1980年11月 Applied Physics Letters, vol.37 M. Matsui, Y.Shiraki, Y.Katayama, K.L.I.Kobayashi, A.Shintani and E.Maruyama p.936-p.937
  Low-temperature Formation of Polycrystalline Silicon Films （LTPS膜の低温形成と膜構造） 共著 1982年2月 Journal of Applied Physics, vol. 53 M. Matsui, Y.Shiraki and E.Maruyama p.995-p.998
  Molecular Beam Deposited Poly-Si Films for Active Devices　（LTPS膜の電気的特性） 共著 1982年8月 Collected Papers of 2nd International Symposium on Molecular Beam Epitaxy and Related Clean Surface Technologies, Tokyo, August 1982 K. Nakagawa, M.Matsui, Y.Katayama, A.Ishizaka, Y.Shiraki and E.Maruyama p.197-p.200
  A 10 x 10 Polycrystalline-Silicon Thin-Film Transistor Matrix for Liquid-Crystal Display　（LTPS-TFT駆動の液晶表示実験） 共著 1983年1月 Japanese Journal of Applied Physics, vol.22, Suppl. 22-1 M. Matsui, J.Ohwada, Y.Shiraki, E.Maruyama, and H.Kawakami p.497−p.500
  Thin-Film Transistors on Molecular-Beam-Deposited Polycrystalline Silicon　（LTPS-TFTの本論文） 共著 1984年6月 Journal of Applied Physics, vol.55 M. Matsui, Y.Shiraki, E.Maruyama, and J.Ohwada p.1590−p.1595
  Scattering of Electrons in Heavily Doped Semiconductors　 (高濃度型不純物伝導に関する) 共著 1977年5月 Journal of the Physical Society of Japan, vol.42 T. Kurosawa, M.Matsui, W.Sasaki p.1622-p.1631
  Reverse Annealing in Hall Mobility Recovery in Irradiated Arsenic-Doped Germanium　（補償のある高濃度型不純物伝導に関する） 共著 1993年12月 Journal of the Physical Society of Japan,　vol.62 M. Matsui, W.Sasaki p.4398-p.4406
  Phase Coherent Length Measurements in Single-Crystal NiSi2 Films　（アンダーソン弱局在に関する） 共著 1990年3月 Journal of Applied Physics, vol.67 M. Matsui, T.Ohshima, F.Komori, S.Kobayashi p.6368-p.6374
  Magnetoresistance in carbon micro-coils obtained by chemical vapor deposition 共著 2001年5月 Extended Abstracts of 2nd Asian Conference on Chemical Vapor Deposition, Gyeongju 2001 M. Fujii, M.Matsui, S.Motojima, Y.Hishikawa p.25-p.28
  Magnetoresistance in Carbon Micro-coils Annealed at Various Temperatures 共著 2001年7月 Extended Abstracts of 13th International Conference on Crystal Growth, Kyoto 2001 M. Fujii, M.Matsui, S.Motojima, Y.Hishikawa p.97
  シリコンデバイスの微細化限界と新技術の創生 単著 2002年3月 長崎総合科学大学情報科学センター所報No.12 　 9頁-13頁
  Magnetoresistance in carbon micro-coils obtained by chemical vapor deposition 共著 2002年4月 Thin Solid Films, vol.409, No.1 M. Fujii, M.Matsui, S.Motojima, Y.Hishikawa p.78-p.81
  Temperature dependence of eigen-energies observed in optical transmittance of doped and undoped InGaAs/InAlAs MQWs 共著 2002年5月 Conference Proceedings of 14th Indium Phosphide and Related Materials Conference, Stockholm 2002 Y. Tanoue, K.Tanaka, T.Kawano, K.Shibata,　N.Kotera, H.Nakamura, M.Washima, M.Matsui p.499-p.502
  Magnetoresistance in Carbon Micro-coils Annealed at Various Temperatures 共著 2002年5月 Journal of Crystal Growth, vol.237-239 M. Fujii, M.Matsui, S.Motojima, Y.Hishikawa p.1937-p.1941
  変調ドープしたInGaAs/InAlAs多重量子井戸における二次元電子系の電流磁気効果 共著 2004年3月 長崎総合科学大学工学研究センター所報 第18号 　 7頁−10頁
  走査トンネル顕微鏡発明史の光と影に見る先端科学技術研究における成功要因 単著 2004年7月 研究・技術計画学会誌「研究技術計画」　第17巻第3号/第4号 　 212頁-221頁
そ　の　他　の　主　な　活　動
学会委員 2010年2月−2012年1月 応用物理学会　代議員
論文誌　　編集委員 1995年4月−1998年3月 応用物理学欧文誌 Japanese Journal of Applied Physics　編集委員 Editor
県産業振興財団　委員 2009年4月−2011年3月 長崎県産業振興財団ファンド事業　審査委員（情報・電子産業分野）
受賞 2003年11月 （社）発明協会 関東地方発明表彰 千葉県知事賞 「二重遮光機能を有する液晶表示装置（特許第2875363号）」
1997年10月 （社）発明協会 関東地方発明表彰 発明奨励賞 「ガラス基板上の多結晶シリコン薄膜トランジスタ（LTPS-TFT）（特許第1885967号）」
招待講演 2000年9月11日 科学技術庁 科学技術政策研究所 講演会 「シリコンデバイス開発に関する技術動向とその限界」
2002年10月４日 九州工業大学 マイクロ化総合技術センター 講演会 「強磁場中の物理」
兼任 2000年10月−2004年3月 長崎大学全学教育 非常勤講師 （「微分積分学II」）
2001年4月−現在 長崎大学工学部 非常勤講師 （「半導体材料学」）

 
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